非接触3D表面粗糙度轮廓形状测量机

非接触3D表面粗糙度轮廓形状测量机Opt-scope R

非接触式、高分辨率、大范围

包括机械加工产品在内的各种工件的三维粗糙度分析

Opt-scope的垂直方向分辨率为0.01 nm，垂直方向测量范围为20毫米。 具有广泛用途的非接触式测量，包括工件表面的细微划痕、磨损量分析，硬 质合金刀具形状分析等。

对应ISO25178-2标准

对应 2012 年新规定的三维粗糙度测量标准 ISO25178-2，能分析 Sa、Sz等新标准规定的三维粗糙度参数。

*的白光干涉峰值检测算法 DEAP*

*的包络线/相位检测算法deap，具有大范围、高分辨率、高 灵敏度的特点。在过去无法对应测量的斜面上，用它可以测量出非常 清晰准确的数据。 *DEAP...包络线/相位检测算法

连续测量功能

通过选配件 XY 轴自动调整台（详见下一页）可以连续测量多张画面，并进行 画面拼接。

● 连续测量功能 任意位置、任意顺序连续测量多个画面

● 拼接功能 在*定位置使用自动调整台连续测量。能识别干涉将多张图形拼接起来，完成 大范围的测量。拼接完成后的图形可以和一次测量出来的数据一样进行分析。

非接触3D表面粗糙度轮廓形状测量机Opt-scope R规格

项 目 规 格 型号 Opt-scope R （多透镜系统） Opt-scope S+ （单透镜系统） 测量方法 垂直相干扫描干涉法 干涉条纹峰值检测算法 DEAP算法 光源 白色LED 垂直方向扫描范围(Z) 20 mm 垂直方向分辨率 0.01 nm Z轴指示精度 ±(0.1 + |H/1000|) μm （H ：测量高度 μm） CCD像数 2048 x 2048 测量范围 (X/Y) ×10镜头时 1.7 x 1.7 mm 水平方向分辨率（X/Y） ×10镜头时 1.12 μm X轴指示精度 4 μm以下 Y轴指示精度 4 μm以下 大测量高度 159 mm 200 mm 立柱 Z 电动 工作台 XY 手动或电动（选配） 倾斜方向 手动 倾斜范围 ±1° 工作台外径 φ 148 mm 工作台载重 20 kg 扫描速度 1 ～ 12 μm/sec 测量部外观尺寸 宽 620 mm 深 800 mm 高 1532 mm 本体重量 175 kg 电源 电压 单相AC100 ／ 110 ±10% (50/60 Hz) 消耗功率 1005 W 885 W 气源 供给压力 0.35 － 0.7 MPa 精度保证环境条件 环境温度 18 ～ 30℃ 温度变化 ±0.5 ℃ /hour